반도체 세정 분야 마이크로버블 시스템 적용 및 납품 사례
안녕하세요.
마이크로버블 전문업체 (주)오투버블 입니다.
반도체 초순수 제조 장치에 적용된 마이크로버블 시스템 입니다.
마이크로버블 발생장치를 통해
초순수나 세정액 내에 마이크로버블을 생성할 수 있습니다.
이렇게 생성된 마이크로버블은
초순수또는 세정액과 함께 세정 챔버에 주입되어
반도체 웨이퍼나 기판 표면의 미세 오염물과 직접적으로 접촉하게되면 효과적으로 분리됩니다.
마이크로버블 발생장치는
다양한 세정 조건에 맞추어 공정을 최적화할 수 있으며
세정 공정의 성능과 효율을 크게 향상시키는 역할을 할 수 있습니다.
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