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반도체세정2

[오투버블] 마이크로버블의 특성과 활용분야 [오투버블] 마이크로버블의 특성과 활용분야 마이크로 버블의 특성 특성 효과 응용 분야 크기가 매우 작다. 단위면적당 표면적이 크다. 부력이 작아 장시간 액체 속에 머물수 있다. 대전효과가 있다. 자기 가압 효과가 있다. 기체 용해 속도가 빠르다. 기체용해 효율이 높다. 완전히 용해된다. 정전기적으로 물체를 끌어당긴다. 기포의 내부 압력에 의해 에너지를 발생한다. 프리라디칼이 생성된다. 오존수 제조 또는 오존, 산소, 질소 등의 가스 용해 가압부상분리 작용 흡착작용 살균세정 용존산소량 증대 생물학적 처리 마이크로버블 활용분야 마이크로버블 설치사례 오폐수 부상분리조 나노-마이크로버블 시스템 설치사례 마이크로 버블은 안정화된 아주 작은 기포의 크기로, 부상처리 효율이 뛰어남 처리원수의 부유물질 부상분리 및 제.. 2021. 2. 9.
[오투버블] 반도체 세정 장비의 마이크로버블(Micro Bubble) 적용사례 반도체 세정 장비 마이크로 버블(Micro Bubble)의 적용 마이크로 버블 이란 직경이 ~50㎛이하 정도인 기포를 의미하는데 일반적인 기포는 수중에서 상승하면서 수면에서 없어지지만 마이크로 버블 기포는 상승속도가 느리고 (-)전하를 띄게 되면서 버블이 먼지, 오일등의 (+)전하의 유해물질을 흡착하여 오염물질을 놓치지 않고 수면으로 부상시켜 제거할 수 있습니다. 반도체 제조공정 중 발생하는 미세한 오염물질과 파티클을 모재의 손상을 최소화하면서 마이크로버블이 공정 오염물을 제거하는 등 제품 수명증가 및 경제적이면서 효율적인 세척을 할 수 있습니다. 다양한 세척장비의 효율적인 세척을 위해 Microbubble이 적용 됩니다. Microbubbles applied to semiconductor cleanin.. 2020. 12. 14.