[오투버블] 반도체 및 디스플레이 정밀세정, 미세오염물 세정을 위한 OH라디칼 시스템 적용사례 #미세기포 #마이크로버블 #살균수

 

 

반도체 및 디스플레이 정밀세정
미세오염물 세정을 위한 OH라디칼 시스템 (적용모델 : O2B-OH50) 적용사례

 

 

 

안녕하세요.

마이크로버블 전문기업 (주)오투버블 입니다.

 

최근 반도체 디스플레이 및 초정밀 가공 공정이 고도화됨에 따라,

눈에 보이지 않는 나노·마이크로 단위의 미세 오염물(상구, 파티클, 잔류 유기물 등)을

완벽하게 제거하는 것이 제품의 수율과 품질을 결정짓는 핵심 요소가 되었습니다.

 

이러한 세정 요구에 대응하기 위해

OH라디칼 시스템 (적용모델: O2B-OH50)의 적용 사례를 소개해 드립니다.

 

 

 

 

 

 

정밀한 세정이 필요한 공정에서는

기존의 단순 화학 세정이나 물리적 세척만으로는

미세한 틈새에 끼인 초미세 오염물을 완벽히 제거하는 데 한계가 있습니다.

 

(주)오투버블의 OH라디칼 시스템을 적용하면,

 마이크로버블이 정밀 부품의 미세한 틈새와 패턴 내부까지 깊숙이 침투하여

표면장력을 낮추고 파티클을 물리적으로 탈착시키는 동시에,

버블 내부 및 표면에서 생성되는 강력한 OH라디칼의 산화력을 통해

잔류 유기물을 효과적으로 분해합니다.

 

 

 

 

 

 

이번 현장에 적용된  'OH라디칼 시스템(적용모델: O2B-OH50)'은

마이크로버블 기술을 활용해 소량의 산화 기체(오존)를 수중에 극한으로 용해시키는 장치입니다.

 

이를 통해 강력한 살균 및 산화력을 지닌 '마이크로버블 산화수'를 생성하여,

기존 화학 약품 세정의 한계를 보완하고 무잔류·비파괴 초정밀 세정을 구현하는 데

효율적인 대안이 될 수 있을 것으로 기대됩니다.