반도체 및 디스플레이 정밀세정미세오염물 세정을 위한 OH라디칼 시스템 (적용모델 : O2B-OH50) 적용사례 안녕하세요.마이크로버블 전문기업 (주)오투버블 입니다. 최근 반도체 디스플레이 및 초정밀 가공 공정이 고도화됨에 따라,눈에 보이지 않는 나노·마이크로 단위의 미세 오염물(상구, 파티클, 잔류 유기물 등)을완벽하게 제거하는 것이 제품의 수율과 품질을 결정짓는 핵심 요소가 되었습니다. 이러한 세정 요구에 대응하기 위해OH라디칼 시스템 (적용모델: O2B-OH50)의 적용 사례를 소개해 드립니다. 정밀한 세정이 필요한 공정에서는기존의 단순 화학 세정이나 물리적 세척만으로는미세한 틈새에 끼인 초미세 오염물을 완벽히 제거하는 데 한계가 있습니다. (주)오투버블의 OH라디칼 시스템을 적용하면,..